全自动碱腐蚀机

碱腐蚀机工艺主要是采用强碱性溶液(主要为氢氧化钠或氢氧化钾等无机碱溶液，或四甲基氢氧化胺等有机碱溶液)对硅片进行腐蚀，为了得到所期望的硅片加工微结构，人们通常还会在硅片表面预先设置二氧化硅或氮化硅掩膜。

全自动碱腐蚀机原理

腐蚀是指利用氢氧化钠对多晶硅腐蚀作用，去除硅片在多线切割锯切片时产生的表面损伤层，同时利用氢氧化钠对硅腐蚀的各向异性，争取反射率较低的表面织构。